碳化硅是由美國(guó)人艾奇遜在1891年電熔金剛石實(shí)驗(yàn)時(shí),在實(shí)驗(yàn)室偶然發(fā)現(xiàn)的一種碳化物,當(dāng)時(shí)誤認(rèn)為是金剛石的混合體,故取名金剛砂,1893年艾奇遜研究出來(lái)了工業(yè)冶煉碳化硅的方法,也就是大家常說(shuō)的艾奇遜爐,一直沿用至今,以碳質(zhì)材料為爐芯體的電阻爐,通電加熱石英SIO2和碳的混合物生成碳化硅。
關(guān)于碳化硅的幾個(gè)事件
1905年 *次在隕石中發(fā)現(xiàn)碳化硅
1907年 *只碳化硅晶體發(fā)光二極管誕生
1955年 理論和技術(shù)上重大突破,LELY提出生長(zhǎng)高品質(zhì)碳化概念,從此將SiC作為重要的電子材料
1958年 在波士頓召開(kāi)*次*碳化硅會(huì)議進(jìn)行學(xué)術(shù)交流
1978年 六、七十年代碳化硅主要由前蘇聯(lián)進(jìn)行研究。到1978年首次采用“LELY改進(jìn)技術(shù)”的晶粒提純生長(zhǎng)方法
1987年~至今以CREE的研究成果建立碳化硅生產(chǎn)線,供應(yīng)商開(kāi)始提供商品化的碳化硅基
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